通线！西北首条硅光中试线在陕建成

　　11月4日，陕西光电子先导院宣布其建设的8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线，成为西北地区首条硅光中试线，将为国内光子产业各类创新主体提供多种类型光电、硅光芯片的研发和中试服务，为陕西光子产业延链补链提供有力支撑。

　　光子技术是新一轮科技革命的引领性技术。2021年，陕西立足自身优势，前瞻布局，在国内率先发布“追光计划”，持续推动光子产业集群快速壮大。4年来，陕西光子产业实现跨越式成长，企业数量攀升至370多家，产业规模从150亿元跃升至365亿元，初步构建起“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链条。

　　“硅光技术是AI算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑，正处于技术突破与应用落地的关键期，但产业发展长期受限于中试资源集中的困境。”陕西光电子先导院总经理杨军红说，全球硅光中试资源大多掌握在欧美企业手中，国内企业依托国外平台流片要支付高昂的费用，且面临流片周期长、产能优先供给受限等问题。但是，自建产线则要巨额投入，这让中小企业和科研团队望而却步。

　　为破解这一困境，2023年，陕西光电子先导院总投资7.5亿元启动建设8英寸先进硅光集成技术平台，引进比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”，并引入光刻、刻蚀、离子注入、介质填充、金属化等60多台(套)关键核心设备，构建起自主可控的先进工艺体系，技术水平处于国内领先。

　　“海外代工厂解决不了企业研发阶段的高度定制化需求，但在陕西进行中试，排队时间短、效率高，速度可比在国外快5倍以上。”深圳瑞识智能科技有限公司董事长汪洋说。

　　“8英寸先进硅光集成技术创新平台的通线，彻底补全了陕西在硅光芯片中试领域的短板。未来，该平台将加速应用于人工智能、光通信、光计算、智能驾驶、低空飞行、医疗健康等领域的产品迭代进程，将大幅缩短光电、硅光客户的流片周期和研发成本。”杨军红说，8英寸先进硅光集成技术创新平台虽然刚通线，但已经与十多家头部企业达成意向合作协议，并吸引了多家外地企业聚集陕西。

　　杭州洛微科技有限公司联合创始人兼CEO冯宁宁说：“8英寸先进硅光集成技术平台解决光子芯片国产化难题，这是吸引我们落户的关键。”

　　杨军红说：“我们将发挥国家级光电子集成产业中试平台优势，积极构建‘化合物半导体+硅光+异质异构集成’三位一体的平台架构，实现从材料生长、芯片制程、器件封装到系统测试的全链条覆盖，助力陕西成为光子产业高地。”(群众新闻记者 苏怡 田若楠)

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